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中国半导体设备业提升要从改变认识着手

发布时间:2019-08-15 17:05:26

  由于全球半导体设备业的服务思维提早转变为最大限度地满足客户的市场需求,如今它的地位己越来越重要。

  中国半导体设备业由于技术水平不高,可能离全球化的目标尚有距离,但是从认识方面上必须有实质性的飞跃。

  一代器件,一代工艺与一代设备,半导体设备与材料在产业发展中所起的作用越来越明显。全球每年在半导体业的投资约500亿~600亿美元,其中有70%用来购买设备。而如今的设备价格更加昂贵,动辄几百万美元一台,浸泡液式光刻机每台高达5000万美元。为什么半导体业如此依赖设备业?

  设备一定要满足工艺需求

  上世纪80年代时,每家设备制造商仅提供设备的硬件装置给客户。当时设备的出厂指标仅限于设备自身,如刻蚀机中,有付蚀速率、刻蚀均匀性、刻蚀线宽的允许误差及在特定工艺条件下每小时产出硅片的数量等。尽管这些指标能反映设备的能力,但客户在拿到设备之后,尚需根据自己所需要的工艺要求,再次进行二次工艺开发。众所周知,这样的工作非常费时,而且有一个致命问题,设备与工艺双方的不易分清。因为工艺的实现不光与工艺条件有关,有时也会受设备结构等影响。在那个年代,从购买设备之后到真正能投入生产中使用,经常会拖延很长时间,为此业界颇有微词。

  为此,半导体设备制造商进行了反思,能否让出厂的设备到客户处就能直接使用,而让客户省去所谓工艺的二次开发?然而要实现这样的目标,在当时的阻力是很大的,因为几乎要把原先该由芯片制造厂完成的工作全部揽至设备厂来完成。一个首当其冲的大问题就是,客户要求的工艺多种多样,而设备制造商的工艺能力十分有限,怎能由设备制造商来引领半导体技术进步呢?

  从目前来看,半导体设备业一定要走在半导体产业的前列,因为客户集中在高端的12英寸需求,其它的如8英寸等都会购买二手设备。客户中的大部分除了扩充28nm产能之外,主要是用以实现16~14nm量产,以及10nm甚至7nm、5nm的研发。因此设备业必须对产业发展有超前的思维,要能想到未来半导体业如何走下去,或者至少能够了解客户将如何往下走,从而实现客户的需求。

  所以,半导体设备业的思路大转变,成为第一个敢吃螃蟹的人。可以想象,设备制造商为此付出了多少辛苦,投入了多少人力与财力。如美国应用材料公司,它有专属的8英寸及12英寸的引导线(目前8英寸引导线己经退役),以帮助客户实现所需的工艺要求。更关键的是该公司还拥有大量的工艺研发人员,他们的工作必须与客户相互沟通,在各个方面走在前列,才有可能引导客户投资购买新的设备。今天的设备厂在一定程度上必须具备全球顶级芯片制造厂的能力,只是分工的侧重点不同而己。

  如今在半导体业界中己经形成这样的观念,只要肯花钱买设备,把工艺制程要求提出来,设备厂商就能满足客户的需求。由此也可部分地解释为什么半导体设备会如此昂贵。

  今天的半导体设备业在整个产业链中占据举足轻重的地位,因为半导体业的进步紧紧依赖于设备业的进步。

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